臭氧在半导体工业中的应用

在半导体行业，清洁度是一个绝对的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变。自80年代末以来，在芯片生产中采用臭氧的清洁工艺已经被使用。随着修改和新方法的开发，人们的兴趣继续增长。